作者:admin 来源:本站 发表时间:2012-4-20 18:41:09 点击:2548 |
一.基准导轨达的直线度误差达在到规定范围内; 1.CCD有正反两种安装,当CCD正装时,测量系统给出的计算结果才与实际相符。如果反装,则结果与实际方向相反,在修整导轨直线度时要特别注意。 1.基准直线导轨的校直 2.第二条导轨的平行度校直 (三) 1. 铅垂面内,基准导轨对其最小二乘中线的坐标 铅垂面对应点垫高值: 0 23.3396 2. 水平仪测出两条导轨起始点与结束点的首尾两点的高度差80um(±11 um). 铅垂面内第二条导轨的安装基面对基准导轨的最小二乘中线的坐标(um): -79.1733 -78.3780 -84.9938 -89.3862 -93.0375 -89.2777 -78.8478 -81.0169 -98.0083 -116.4820 -113.4632 -96.3633 -85.9335 -86.6203 -95.4595 -85.0296 -83.4931 -94.5556 -86.3491 -71.4725 -64.0071 -48.3895 -34.2540 -24.5653 铅垂面对应点垫高值: 85 铅垂面内第二条导轨对基准导轨的最小二乘中线的坐标(um): -20.4031 -11.7918 -16.5205 -24.2137 -25.9780 -26.2600 -10.8016 -12.5659 -20.2591 -26.4701 -34.1633 -21.1053 -16.9406 -24.6338 -20.4692 直线导轨的安装小结 A.基准直线导轨的校直并固定; B.第二条导轨的平行度校直,并与下安装台面预先连接(不紧固); C. 基准导轨和第二条导轨的滑块与上工作台面预先连接(不紧固),滑块与上工作台面反复在基准导轨和第二条导轨上作全程的往复运动,紧固基准导轨的滑块与上工作台面,在紧固第二条导轨的滑块与上工作台面,最后紧固第二条导轨与下安装台面。 注意:1.紧固力要均衡。 3. 磨削或刮研的方法校直导轨才能保证高精度和高刚度。 |
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